스핀코터(spin coater) 스핀에처 (spin etcher) &
스핀디벨로퍼(Spin Developer)
Diamond SAW / 시편절단기
폴리셔 (Polisher/
Polishing Machine)
Diamond Wire Saw
(다이아몬드 와이어 커터)
4 포인트 프로브(4 point probe :
표면저항측정기)
웨이퍼 현상장비/ 현상기/
에칭기/ Developer
반도체 및 pcb용 노광기 반도체-PCB 중고장비
양극 접합 장치 PR 스프레이코터 프로브스테이션
와이어본딩 테스터기 마이크로 컨택 프린터 UV 필름 경화 장비
진공탈포기 SEMICONDUCTOR-LCD
RD-PILOT-IN LINE LIST

칩 얼라이너
나노 미세 가공기 소형 정밀 프레스 vacuum Pump(버큠펌프)

 
 

200 mm/8”대응 장치와 300 mm/12”대응 장치가 있습니다.
워크를 회전시키면서 조사시키기 위해 광원장이 워크의 반경분에 들어가 소형, 경량이며 작업 전영역에 균일한 조사(照射)를 행할 수가 있습니다.

또한, 폐사 독자적인 고효율, 작은 시내량 N2퍼지 기능이 탑재되고 있습니다.
N2의 사용량이 종래 장치와 비교라고 훨씬 적고 또한 확실한 치환 효과를 얻을 수 있습니다.

특징은 저소비 전력화, 미량인 가스 소비 등,
장치의 런닝코스트의 저감에 크게 공헌할 뿐만이 아니고,
장치 코스트의 삭감, 고가의 클린 룸의 설치 스페이스의
감소 등 종합적인 제조 프로세스의 효율화를 도모할 수 있습니다.