200 mm/8”대응 장치와 300 mm/12”대응 장치가 있습니다.
워크를 회전시키면서 조사시키기 위해 광원장이 워크의 반경분에 들어가 소형, 경량이며 작업 전영역에 균일한 조사(照射)를 행할 수가 있습니다.

또한, 폐사 독자적인 고효율, 작은 시내량 N2퍼지 기능이 탑재되고 있습니다.
N2의 사용량이 종래 장치와 비교라고 훨씬 적고 또한 확실한 치환 효과를 얻을 수 있습니다.

특징은 저소비 전력화, 미량인 가스 소비 등,
장치의 런닝코스트의 저감에 크게 공헌할 뿐만이 아니고,
장치 코스트의 삭감, 고가의 클린 룸의 설치 스페이스의
감소 등 종합적인 제조 프로세스의 효율화를 도모할 수 있습니다.