1.장치의 개요
본장치는 , 하버드 대학의 것G.Whitesides에 의해 제창된 「마이크로 컨택트 프린팅(micro contact
printing)」법으로 대응하는 마이크로 컨택트 프린터 장치입니다. 마이크로 컨택트 프린팅법은 급속히
전개해 온 유기 엘렉트로닉스 분야에서 차세대 디바이스 제조법으로서 주목을 끌고 있습니다.
PDMS(폴리 디메틸 실록산) 스탬프를 설치해 시료상에 셀프 어셈블(assemble)막을 전사 할 수가
있습니다. 그리고 일반적인 컨택트 방식 마스크아라이나라고 해도 사용 하실 수 있기 때문에 , 스탬프 마스터의
제작등도 가능합니다. 각 기구 조작부를 수동으로 한 심플한 구성으로 , 다방면에서의 응용이 듣는 Low
cost로 사용하기 편리한 장치입니다.
2.사양
◆프린트 형식 W 스테이션 방식
1. 아라이먼트/컨택트 스테이션(앞측：수동)
2. 스탬프대(잉크 보충) 스테이션(오측：수동)
3. 스탬프 이동부 앞측←→오측에 전후 슬라이드(수동)
◆아라이먼트 기구 개요
Z축 미동 나사 및 에어 실린더 컨택트 방식
가동축 XYZθφ(평행) 축 옵션에서 미트트요제 Z축 높이측장기 분해가능 1μm
◆스탬프대 기구 개요
Z축 미동 나사 및 에어 실린더 컨택트 방식
가동축 Zφ(평행) 축 옵션에서 미트트요제 Z축 높이측장기 분해가능 1μm
※스탬프-시료의 강제 박리에 대응
◆적응 시료(앞 아래 쪽)
사이즈 최대 □4인치 두께 최대 t=500μm정도
※1주의 노광 에리어는 자외선 조사지름·홀더 개구부 치수에 의해 제한됩니다.
◆적응 스탬프(위쪽：마스크아라이나시는 적응 마스크)
사이즈 최대 □4인치 두께 0.06인치 또는0.09인치 ※1
◆적응 스탬프대(후방 아래 쪽)
사이즈 최대 □4인치 두께 최대 t=500μm정도 ※1
※1 시료 탑재면 또는 스탬프대 홀더와 스탬프(마스크) 설치면과의 거리는5.5mm입니다.
시료 또는 스탬프대와 스탬프(마스크) 의 두께 합계가 최대로5mm정도이면 사용 가능합니다.
◆노광 방식 1：1등 배 노광 컨택트(컨택트압 조정가능) 및 프로키시미티
◆노광 성능 및 램프 하우스
광학 형식 콜리메이터 렌즈 방식 우시오전기제 250W Hg램프 USH-250D
유효 노광 면적 약φ80mm 조도 균일도 ±15%이내 UV 조사 강도 약13mW/c㎡ (at 405nm)
◆아라이먼트 방식
쌍 대물CCD&모니터 관찰 현미경에 의한 목시 아라이먼트
종합 배율 9인치시 약100배(모니터 사이즈에 의한다 )
광학 렌즈 배율 4배 시야 범위 횡 약1.6(2분할시0.8) × 세로 약1.2mm
※2CCD의 영상을1모니터에 비추기 (위해)때문에 옆의 시야는 반이 됩니다.
관찰 조명 고휘도 적색LED에 의한 같은 축락 쏘아 맞히고 식 조명
대물렌즈간 거리 20~80mm X축(옆) 방향
◆치수/중량
670(H)×460(W)×540(D)mm이내 / 300Kg 이하
램프 하우스 , 현미경의 스윙시는 본발자국으로부터 오버합니다.
제어 박스 , 램프 하우스 전원은 별도입니다.
◆유틸리티
진공 600mmHg이상
질소 또는 드라이 에어 5Kg/c㎡이상
전원 AC100V 8A (최대)
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