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Spray
Coater 3DC 스프레이 코터 3DC
1 개요
본장치는 마이크로 머신(MEMS)및 각종 반도체 디바이스 연구용으로 개발된 스프레이 코터입니다. 특수한 커스텀
스프레이 노즐의 채용으로 물약의 미세 입자화가 가능하게 되어 스핀 코터 레벨의 박막을 처음 , 덧칠에 의한
종래 곤란했던 초후막까지의 코팅에 대응합니다.
서브 스트레이트상의 경사면이나 도랑 , 사다리꼴부의 정점이라고 하는 종래의 스피너로 도포가 곤란함 부분에도
균일한 막을 형성할 수 있습니다. 그리고 시료 고정에 진공 흡착을 사용하지 않고 스루홀 기판에도 대응합니다.
2 특징
(1) 서브 스트레이트상의 경사면이나 구부에도 약제를 균일하게 코팅 할 수 있습니다.
(2) Clariant회사AZ-P4000,MicroChem회사SU-8등의 초후막용 레지스터를 시작해 벤조시크로브텐
수지(BCB), 각종 폴리머등 에 대응합니다. (희석이 필요)
(3) 자동 회전식 시료대로 복수면의 코팅이 가능합니다. 그리고 시료대의 교환에 의해 각종 사이즈·형상의 시료에
대응합니다.
(4) 스프레이 노즐의 각도나 높이를 조정할 수 있습니다.
(5) 최소한의 물약으로 코팅 할 수 있어 스핀 코팅과 같은 헛됨이 없습니다. 그리고 가압 탱크내에 소형 용기를
넣는 것으로 소량의 레지스터에서도 스프레이 가능합니다.
(6) 스프레이 부스는 스텐레스제로 부스내는 다운 플로우 시스템입니다.
(7) 부스 천판부의 탈착으로 청소가 용이. 부스 슬라이드 도어는 투명해 스프레이 상태를 관찰할 수 있습니다.
(8) 시료 통과 경로에 핫 에어 커튼을2개소 설치. 부스내의 온도 컨트롤도 할 수 있습니다.
(9) 시료 예열 히팅 플레이트를 장비 하고 있어 미리 시료의 가열을 할 수 있습니다.
(10) 스프레이 상태의 사전 확인을 할 수 있는 테스트 분무 스윗치 첨부.
(11) 독립한 레지스터 탱크와 용제 탱크를 가져 , 밸브 전환으로 레지스터 라인 및 노즐의 세정이 용이하게
할 수 있습니다.
(장기간 사용하지 않는 경우는 , 레지스터 가압 탱크에 용제를 세트 해 flushing 하는 )
(12) 종래의 스프레이 코팅 장치보다 Low cost로 취급이 간단합니다.
3 사양
(1) 형식 스프레이 고정·시료 이동형 스프레이 코터
시료의 탈착은 수동입니다.
(2) 제어 시퀀서 제어에 의한 세미 오토 운전
누전 브레이커 , 서킷 프로텍터 내장
비상 정지 스윗치 장비(시료 이동 , 스프레이 정지)
(3) 스프레이 방식 가압 탱크에 의한 물약 압송 및 드라이 에어에 의한 스프레이
가압 탱크 사이즈 1.0리터×2(레지스터 , 용제)
(4) 대응 시료 사이즈 최대 150mm각(이 사이즈는 회전할 수 없습니다 )
회전시키는 경우는φ150mm까지됩니다.
표준 사이즈는φ100±0.02mm및φ150±0.02mm입니다.
단φ150±0.02 mm은 옵션이 됩니다.
표준 사이즈 이외는 커스텀(별도협의하고 )이 됩니다.
(5) 스프레이 기구부 슬릿 노즐 각도 가변식
① 레지스터 압력 범위 0.5~5Kg/c㎡(≒bar) 가압 탱크
② 스프레이 에어 압력 범위 0.5~5Kg/c㎡(≒bar) 드라이 에어
③ 노즐 각도 범위 ±15도
④ 노즐 높이 범위 80~150mm(시료대면으로부터 )
⑤ 테스트 스프레이 기능 스윗치를 누르고 있는 동안 스프레이 됩니다
(6) 시료 이동부
① 직선 이동 범위 약 400 mm(직동전 stroke)
보내 스피드 0.45~6.9 m/min. (7.5~115 mm/sec.) (50Hz)
② 직동 보내 기구 타이밍 벨트 드라이브(부스 구분 롤 셔터)
③ 회전 스피드 15~233 rpm (50Hz)
④ 회전 기구 타이밍 벨트 드라이브
(7) 온도 조정부
① 핫 에어 커튼 실온 ~ MAX. 100℃ 핫 에어 발생기
② 시료 예열 플레이트 실온 ~ MAX. 80℃
(8) 배기 팬 전동 팬에서 부스내의 하부로부터 배기합니다.
스프레이 운전중은 자동 정지 제어됩니다.
(9) 레지스터 입자 지름 약10~20μm (목표)
(10) 유틸리티
① 크린 드라이 에어 5Kg/c㎡(≒bar) 정도(공기 압력 튜브 접속구φ6mm)
② 전원 AC100V 1800W
③ 배기 100리터/분 접속 덕트지름 φ100mm
(11) 외형 치수·중량
① 본체 1300×800×800 mm (H×W×D)
돌기부를 포함하지 않는 개략
② 중량 150Kg 이하
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