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동아무역은 스핀코터 (Spin coater), 디벨러퍼, 스트리퍼 등 최 첨단 신 기술개발 및 제조를 통해 차 새대를 생각하는 기업 입니다.
또한 스핀코터 단일 아이템으로 수출유망중소기업으로 중소기업청에서 인증을 받았습니다. 동아무역은 20년 노하우와 기술과 믿음으로 항상 함께 하겠습니다. |
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스핀코터와 관련하여 한국저작권위원회에 2건, 특허청에 1건의 특허와 1건의 실용신안 등록을 보유하고 있습니다. |
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당사가 제조하는 초 정밀 그래픽 스핀코터는 세계 최초로 특허를 받고 국내 기업체 , 이공대 연구실, 국가 연구소 및 전 세계에서 절찬리에 사용 하고 있습니다.
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| | 스핀코터
납품 실적 (국내 기업체 연구소, 대학교, 이공대 대학원, 국가 연구소 공급 ! 조달청 등록)
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| | LG그룹 계열사,
삼성그룹 계열사, 카이스트, 성균관대, 삼성LED, 경북대, 서울대, 연세대, 서강대, 한국화학연구원, 고려대,
나노소자 특화팹 센터(정부기관), 서강대, 한양대, 삼성전기, 융합과학기술대학원, 삼성모바일디스플레이,삼성테크원,
삼성전자DMC연구소, LG전자기술원, LG필립스LCD,GS칼텍스, 삼성코닝절밀, 제일모직,경북대, 전북대,
LG화학연구원, 포항공대(포스텍),전남대, 한국기계연구원, 대양전기공업, 국민대, 세종대, 잉크테크, 한국원자력연구원,
SI CNF, 이노칩텍크널러지, 동진쎄미켐, 한국과학영재고,광주과학기술원(Gist), 경기과학고, 삼성 종합기술원,삼성전자,
울산대, SK연구소, LG전자기술원, 휴브글로빌, 미주과학, 선문대, KBT, 한남대, 한국전자통신연구원(ETRI),
한국생산기술연구원, 대구경북과학기술연구원, 새한토레이, 포항지능로봇연구소, 제일모직, 세종대, 동국대, 기초지원과학기술연구원,
엔씨케이, 쌍용머티리얼, 노루코일코팅, 홍익대,EEWS(카이스트내),부산대, 건국대, 경성대, 충남대, 동명이화학,
쎄로닉스, 조선대, 울산대, 이화여자대학교, 코멕, 힘스, 카토릭대, 태인, 창성,LG전자, 창원대, 한국과학기술연구원(KIST),
삼양옵틱스, PNC트레이딩, 삼전순약, 경성대, 단석산업, 대덕과학, 충북대, 엘케이랩코리아, 숭실대, 영남대,
석경 AT, 웅진케미칼, 인제대, , 알파하이테트, 공주대, LG실트론, 한국전기연구원, QSI, 아이넥서스,
성호씨그마, 씨에스텍, 경성대, 나노종합팹센터(경기도), 뉴영엠테크, 비젼테크, 충남대, 유스텍, 국민대,
두산메카텍, KAIST(한국과학기술원), 강원대, 광운대, 켐백스, 경희대, 경원대, 대구대, 한국항공대학,
이건창호, 한멤스웨어, 동성과학, 한국기업정보연구원, 원광대, 자동차부품연구원, 세심광전자기술, 아주대, 철강대학원,
화인, 사이언스맥스, 나노팹쎈터(카이스트), 영남대, 한국잉크테크, AM테크놀로지, 부경대, 제주대, 안양대,
자동차부품연구원, 서울시립대, 삼성전기 중앙연구소, ,아프로 R&D, 그린바인더,호남대, 욱성화학, 광명이화학,
포사이언스, 경상대, 지엔에스, YMS 코리아, 에스엘텍, 알파하이텍, 도은, NCK, 나비바이오테크, VAT사인언스,
한텍, DS과학, 쓰리샤인,외 다수. 기타 업체 연구소 및 대학(연구실), 미국, 일본, EU(영국, 독일,
스위스, 프랑스 등등), 중국, 싱가폴, 인도, 파키스탄, 방글라데시, 이집트 등에 수출 (약 15개 국가).
이외 회사 기밀 보호를 원하는 거래처 (딜러 포함), 특수 공급된 업체는 업체의 사정에 의해서 제외시켰으며,
기타 및 이외 추가 공급된 업체 (연구소,대학원,연구실, re-sellers/30여곳)들이 있습니다. 상기
대학 연구실 및 기업체에 다수 또는 복수로 100여대 이상 공급 하고 있습니다. |
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20년
노하우! 이제 더 이상 외제를 사실 필요없이 당사가 제조하는 스핀코터로 사용하십시오. Quality Good,
A/S는 3일이내! |
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초
정밀 디지탈 그래픽 스핀코터(세계최초 특허 취득. 허용 오차 ± 1 R.P.M 구현! 세계 TOP ! 명품
스핀코터 ! |
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스핀코터 (ACE-200) /
베스트셀러 |
P.P, 테프론, 수지등 볼, 버큠척을 변형 공급 |
스핀코터 (TOP-8) |
글로브 박스형 스핀코터(ACE-200) |
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초
정밀 스핀코터 시리즈 세계 최초 그래픽 스핀코터, 특허 인증 취득 :
Wafer, Glass, 각종 시료, 등등으로 스핀 코팅 데이터를 실시간 그래픽 및 문자모드로 자유롭게 구현
스핀코터 |
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초 정밀 스핀코터: ACE-200
(컴팩트형)
♂ Specification : 글로브 박스에
적용에도 최적.
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Wafer size(Max.) |
piece to 4" diameter,
6" |
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Bowl size |
235 m/m Bowl |
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Bowl material |
SUS (option: P.P, Tefelon, etc) |
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Special DC Motor |
Up & Down free |
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Step |
100 step |
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Memory storage |
100 program |
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Rotation Speed |
0 to 50 ~ 8,000 rpm |
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Hold Time |
1~999sec |
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Accuracy |
± 1 R.P.M |
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acceleration, deceleration free |
3,000 R.P.M/sec |
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Graphic
Fuction |
Real
time for steps (스핀구동 그래픽으로구현) |
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Power Input |
AC 220V, 50/60Hz |
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Vacuum Input |
-450~-650mmHg (6mm ID / 8mm OD) |
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Display |
LCD (Back Light) |
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System Controller |
MCU (Digital Microprocess) |
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Dimension (W X
D X H) |
320 X 420 X 220 mm |
세계적 베스트셀러 스핀코터 (성황리에
수출) |
초 정밀 중형 디지털 스핀코터 - 모델:
TOP-8
♂ Specification
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Wafer size(Max.) |
1/2 ~ 8" diameter
(piece to 8 inch) |
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Bowl size |
360
m/m |
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Bowl material |
SUS |
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Special Servo
Motor |
Up & Down free |
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Step |
100 step |
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Memory storage |
100 program |
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Rotation Speed |
0 to 50 ~ 6,000 rpm |
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Hold Time |
1~999sec |
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Accuracy |
± 1 R.P.M |
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acceleration, deceleration free |
3,000 R.P.M/sec |
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Graphic
Fuction |
Real
time for steps (스핀구동 그래픽으로구현) |
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Power Input |
AC 220V, 50/60Hz |
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Vacuum Input |
-450~-650mmHg (6mm ID / 8mm OD) |
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Display |
LCD (Back Light) |
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System Controller |
MCU (Digital Microprocess) |
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Dimension
(W X D X H) |
540
X 440 X 325 mm |
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초
정밀 대형 디지털 스핀코터 - 모델:
ACE-1200
♂ Specification
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Wafer size(Max.) |
1/2 ~ 8" diameter
(piece to 8 inch) |
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Bowl size |
360
m/m |
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Bowl material |
SUS |
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Special Servo
Motor |
Up & Down free |
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Step |
100 step |
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Memory storage |
100 program |
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Rotation Speed |
0 to 50 ~ 3,000 rpm |
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Hold Time |
1~999sec |
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Accuracy |
± 1 R.P.M |
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acceleration, deceleration free |
3,000 R.P.M/sec |
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Graphic
Fuction |
Real
time for steps (스핀구동 그래픽으로구현) |
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Power Input |
AC 220V, 50/60Hz |
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Vacuum Input |
-450~-650mmHg (6mm ID / 8mm OD) |
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Display |
LCD (Back Light) |
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System Controller |
MCU (Digital Microprocess) |
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Dimension
(W X D X H) |
540
X 440 X 325 mm |
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당사가 제조하는
스핀코터는 그래픽 화면 (LCD의 그래픽화 구현: 실시간으로 스탭별로 스핀
데이터를 그래픽 또는 문자모드로 자유롭게 볼 수 있음) |
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특징
1. 0 또는 50 ~ 8,000 R.P.M까지 스피드를 자유롭게 올리고 내리면서 사용할 수 있습니다.
(Speed R.P.M : Up & Down Free: 3,000 or 6,000/ Sec)
2. controller 보드 하나로 스핀코터를 구현하므로 고장이 거의없고, 만약 발생시 A/S가 아주 간단합니다.
(A/S : 3일 이내 :
내부, 외부 장치 Compact화 구현)
3. 스핀코터의 외형 높이를 최대한 낮게 제조해서 글로브 박스안에 놓고도 용이하게 사용할 수 있습니다.
(높이 200 mm: 글로브 박스에 적용에도 최적입니다.)
4. 100 스탭, 100 프로그램을 사용 하므로서 자유롭게 원하시는 스핀코터 데이터를 얻을 수 있습니다.
(실시간 그래픽으로 스탭별로 코팅과정을 볼 수 있습니다. 세계최초 특허 획득)
5. spin controller의 프로그램으로 스핀코터 동작시 초보자도 쉽게 사용할 수 있게 구현 했습니다.
(디지탈 방식 스핀코터 채택)
6. 스핀코터의 볼 청소를 아주 쉽고, 간단하게 할 수 있습니다.
7. 외국 스핀코터와 비교할 때 다양한 기능 및 좋은 성능에 비해 스핀코터 가격을 저렴화 시켰습니다.
8. 스핀코터의 안전장치 : 버큠이 척과 시료에 안잡히면 작동이 안되어 운영자의 안전을 최우선으로 고려하여
개발, 생산했습니다.
9. 스핀코터 셋팅시킨 R.P.M 수치와 실제로 돌아가는 R.P.M을 볼 수 있어 회전 정밀도를 순간, 순간
확인할 수 있습니다.
(고 정밀도 스핀코터 실현화)
10. 당사가 공급하는 스핀코터는 내부 구조가 spin motor + power supply + simple
controller (board)로 구성되어 있어서 마치 PC를 업그레이드 하듯이 간단하게 수리가 가능하므로(2~3일
이내) 보다 안전하고 편리하게 사용 하실수 있습니다.
11. 스핀코터 전용의 강력한 모터와 프로그램을 연결하여 high R.P.M 구현시도 급 정지를 구현 함으로서
여러 가지 재료를 응용하여 귀사의 연구 개발에 큰 기여를 하는 스핀코터입니다.
또한 실시간 구현되는 회전의 동작을 그래픽으로 확인하므로서 코팅의 데이터를 쉽게 구할수 있습니다.
12. 위치제어 기능이 있어 정지시 시료(웨이퍼, 글라스 등등)를 원하는 위치에 정지 기능이 있어 시료 Handling에도
최적입니다.
13. 저속, 고속 R.P.M 에도 안정적으로 코팅 구현. (50 R.P.M 에도 여유롭게 작동, 고 R.P.M
에도 OK)
●저렴한 원가,간단한 설계, 저소음, 저진동
●스핀코터의 정밀도(허용오차) 土1rpm 으로 매우 뛰어난 회전 정밀도
●회전수 표시,신뢰성이 높은 실회전수 표시 / LCD상 그래픽으로 스핀 구동을 실시간 볼 수가 있어 코팅 데이터를
쉽고 빠르게 구현하여
연구, 개발 시간이 대폭 줄어듭니다.
●스핀코터 프로그램은 최대 100스텝, 100프로그램 입력 가능
●스핀코터의 회전 속도 가속, 감속 (acceleration & deceleration) 자유롭게 구성
(최대 초당 3,000 R.P.M 가속, 가감)
●급 정지 가능 (여러가지 시료 및 포토레지스트, 화학약품에 대응
●위치 제어 기능으로 정지시 원하는 위치에 정지 (시료 Handling에도 최적)
●저속, 고속 R.P.M 에도 안정적으로 코팅 구현 |
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Reference Data to purchase for spin coater as follow :
1. SPIN COATER (MODEL: TOP-8) : Using to vacuum chuck 5 to 8 inch is very good.
2. SPIN COATER (MODEL: ACE-200) : Using to vacuum chuck 4 inch under is very good.
Optional Vacuum chucks
Spin Coater Chuck Selection (스핀코터 버큠 척 종류)
Chucks are machined to close tolerances and provide an exceptionally flat, rigid surface for mounting
substrates of different sizes, weights, and shapes. Custom chucks are also available.
Proper chuck selection should be based upon substrate size and rigidity. The proper chuck diameter is
1/4 to 1 inch smaller than the substrate diameter.
The entire substrate should be supported if it is flexible, fragile, or when it is to be wiped or brushed
during cleaning.
Vacuum chucks are available in stainless steel, hard anodized aluminum. Please specify the material of
choice and chuck size when ordering
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| Features:
-
IC
digital temperature control from 35 oC
- 200 oC with +/- 1.0 oC accuracy.
-
Extra
flat surface and ideal for flat substrate wax mounting during
polishing
-
Excellent
for heating and mounting brittle crystal materials
at uniform temperature.
-
Heating
element with Aluminum casting, extreme safe from
firing
-
Heating
plate easy to change with low maintenance cost
-
Heavy
duty structure with life time warranty.
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| Features:
- IC digital temperature control from 35 oC - 280 oC
with +/- 1oC accuracy.
- Extra
flat surface and ideal for flat substrate wax mounting during
polishing
- Excellent
for heating and mounting brittle crystal materials
at uniform temperature.
- Heating
element with Aluminum casting, extreme safe from
firing
- Heating
plate easy to change with low maintenance cost
- Heavy duty structure with one
year warranty.
Specifications:
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| Model |
3040 |
| Power
supply |
AC
110V, 50-60 Hz |
| Power |
1200
VA |
| Max.
temperature |
280
0C (5360F) |
| Accuracy |
+/-
1 0C |
| Heating
area |
373
x 273 mm (14.7" x 10.7") |
| Dimension |
337
x 400 x 135 mm (13.3" x 15.7" x 5.3") |
| Net
weight: |
~30
lbs (~14 kg) |
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