동아무역 홈페이지에 오신걸 환영합니다[스핀코터/spincoater]

국내 선호도 1위! 초정밀 그래픽모드 탑재 스핀코터

Spin Coater ACE-200, Top-8, ISC-4

특허취득 스핀코터 (Spin Coater)

스핀코터(Spin Coater) ACE-200 과 Top-8 은 스핀코팅 (spin coating)시에 RPM속도와 그 속도에 맞는 그래프를 육안으로 확인할 수 있는 그래픽모드 관련하여 특허취득

(특허제 10-0936100호) 이 그래픽모드로 인하여 코팅데이터값을 쉽고 빠르게 얻을 수 있습니다.

0 또는 50 ~ 8,000 R.P.M까지 가능한 초정밀 스핀코터 (Spin Coater)

당사가 제조하는 초정밀 그래픽 모드 스핀코터는 세계 최초로 특허를 받고

국내 기업체의 연구소 및 벤처기업, 각 대학의 이공대 연구실, 국가기관 연구소에서 사용되고 있으며, 전 세계에 수출하고 있는 장비입니다.

본체, Vacuum Chuck, Oiless Vacuum Pump 각 1EA, 1SET *
샘플사이즈에 맞추어 Vacuum Chuck 제작 *

보울, 커버, 배큠척 등을 테프론등으로 변경하여 제작 가능

● 모델명 : ACE-200, Top-8, ISC-4

Features/Advantages (특징/장점)

0 또는 50 ~ 8,000 R.P.M까지 스피드를 자유롭게 조정 가능
- Speed R.P.M : Up & Down Free: 3,000 / Sec
controller 보드 하나로 스핀코터를 구현하므로 고장이 거의없고, A/S 지원
- A/S 3일이내, 내부, 외부 장치 Compact화 구현
스핀코터의 외형 높이를 최대한 낮게 제조해서 글로브 박스안에 놓고도 용이하게 사용 가능
- 높이 240 mm: 글로브 박스에 적용에도 최적
100 스탭, 100 프로그램을 사용 하므로서 자유롭게 원하시는 스핀코터 데이터를 획득
- 실시간 그래픽으로 스탭별 코팅과정을 볼 수 있습니다. 세계최초 특허 획득
Spin Controller 의 프로그램으로 스핀코터 동작시 초보자도 쉽게 사용 가능
- 디지털 방식 스핀코터 채택
스핀코터의 볼 청소 용이
스핀코터의 안전장치
- 버큠이 척과 시료에 안잡히면 작동이 안되어 운영자의 안전을 최우선으로 고려하여 개발, 생산했습니다.
스핀코터 셋팅시킨 R.P.M 수치와 실제로 돌아가는 R.P.M을 볼 수 있어 회전 정밀도를 순간, 순간 확인할 수 있습니다.
- 고 정밀도 스핀코터 실현화
spin motor + power supply + simple controller (board)로 구성
코팅의 테이터를 쉽게 구할 수 있어 연구 개발에 큰 기여
저속, 고속 R.P.M 에도 안정적으로 코팅 구현
- 50 R.P.M 에도 여유롭게 작동, 고 R.P.M 에도 이상 없음
저렴한 가격, 간단한 설계, 저소음, 저진동
스핀코터의 정밀도
- 허용오차 土1rpm 으로 매우 뛰어난 회전 정밀도
회전수 표시,신뢰성이 높은 실회전수 표시 / LCD상 그래픽으로 스핀 구동을 실시간 체크 가능
- 코팅 데이터를 쉽고 빠르게 구현하여 연구, 개발 시간이 단축
스핀코터 프로그램은 최대 100스텝, 100프로그램 입력 가능
스핀코터의 회전 속도 가속, 감속 (acceleration & deceleration) 자유롭게 구성 (최대 초당 3,000 R.P.M 가속, 가감)
급 정지 가능
- 여러가지 시료 및 포토레지스트, 화학약품에 대응
위치 제어 기능으로 정지시 원하는 위치에 정지
- 시료 Handling에도 최적
CE 인증 마크 획득

초 정밀 그래픽모드 스핀코터 ( Spin coater ) : ACE-200 (컴팩트형)

고성능. 컴퍀트 타입 스핀코터 (SPIN COATER)
고속 (8000RPM) 에서뿐만 아니라, 저속(50RPM)에서도 고정밀도 유지하는 Precision Spin Coater
실시간 그래픽모드(Graphic Mode) 탑재(특허취득)하여 스핀코팅(Spin Coating) 데이터값 실시간 확인가능
저소음 저진동 (BLDC 모터)
최대 100프로그램 100스텝 입력가능
1초당 최대 3,000RPM 가속 가감
급정지시 위치제어 기능 탁월
저속고속 RPM에도 안정적으로 코팅
관리비용(Running Cost) 저렴
콤팩트한 설계로 유지보수 및 A/S간단

초 정밀 그래픽모드 중형 스핀코터(Spin coater) : Top-8

고성능. 컴퍀트 타입 스핀코터
고속 (5000RPM) 에서뿐만 아니라, 저속(50RPM)에서도 고정밀도 유지하는 Precision Spin Coater
실시간 그래픽모드(Graphic Mode) 탑재(특허취득)하여 코팅 데이터값 실시간 확인가능
저소음 저진동 (BLDC 모터)
최대 100프로그램 100스텝 입력가능
3초당 최대 3,000RPM 가속 가감
급정지시 위치제어 기능 탁월
저속고속 RPM에도 안정적으로 코팅
관리비용(Running Cost) 저렴
콤팩트한 설계로 유지보수 및 A/S간단

인터락 세이프티 (Inter Lock Safety) 기능 스핀코터 : ISC-4

푸시버튼센서를 통하여 커버가 닫혀있는 상태에서만 동작가능
커버를 오픈할경우에는 Spin 기능 자동정지 (Start 기능도 잠김) 하여 안전기능 강화.
전원차단상태가 아닌 회전동작만 정지할 수있도록 프로그래밍화

Technical Specifications (기술 사양)

초 정밀 그래픽모드 스핀코터 ( Spin coater ) : ACE-200 (컴팩트형)

Specification : 글로브 박스에 적용에도 최적.

Wafer size(Max.)	piece to 4" diameter, 6"
Bowl size	235 m/m diameter
Bowl material	SUS (option: P.P, Tefelon, etc)
Special DC Motor	Up & Down free
Step	100 step
Memory storage	100 program
Rotation Speed	0 to 50 ~ 8,000 rpm
Hold Time	1~999sec
Accuracy	± 1 R.P.M
acceleration, deceleration free	1~ 3000 R.P.M/sec
Graphic Fuction	Real time for steps (스핀구동 그래픽으로구현)
Power Input	AC 220V, 50/60Hz
Vacuum Input	-450~-650mmHg (5mm ID / 8mm OD)
Display	LCD (Back Light)
System Controller	MCU (Digital Microprocess)
Motor	BLDC SERVO MOTOR
Dimension (W X D X H)	320 X 420 X 240 mm

초 정밀 그래픽모드 중형 스핀코터(Spin coater) : Top-8

Wafer size(Max.)	1/2 ~ 8" diameter (piece to 8 inch)
Bowl size	390 m/m diameter
Bowl material	SUS (option: P.P, Tefelon, etc)
Special DC Motor	Up & Down free
Step	100 step
Memory storage	100 program
Rotation Speed	0 to 50 ~ 5,000 rpm
Hold Time	1~999sec
Accuracy	± 1 R.P.M
acceleration, deceleration free	1~ 3000 R.P.M/3sec
Graphic Fuction	Real time for steps (스핀구동 그래픽으로구현)
Power Input	AC 220V, 50/60Hz
Vacuum Input	-450~-650mmHg (5mm ID / 8mm OD)
Display	LCD (Back Light)
System Controller	MCU (Digital Microprocess)
Motor	BLDC SERVO MOTOR
Dimension (W X D X H)	540 X 440 X 260 mm

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