스핀코터(spin coater) 스핀에처 (spin etcher) &
스핀디벨로퍼(Spin Developer)
Diamond SAW / 시편절단기
폴리셔 (Polisher/
Polishing Machine)
Diamond Wire Saw
(다이아몬드 와이어 커터)
4 포인트 프로브(4 point probe :
표면저항측정기)
웨이퍼 현상장비/ 현상기/
에칭기/ Developer
반도체 및 pcb용 노광기 반도체-PCB 중고장비
양극 접합 장치 PR 스프레이코터 프로브스테이션
와이어본딩 테스터기 마이크로 컨택 프린터 UV 필름 경화 장비
진공탈포기 SEMICONDUCTOR-LCD
RD-PILOT-IN LINE LIST

칩 얼라이너
나노 미세 가공기 소형 정밀 프레스 vacuum Pump(버큠펌프)

 
  제품 개요
 Low cost로 컴팩트한 양극 접합 장치로 연구·실험에 적절한 데스크탑 타입입니다.
SlG­S대기형으로 실온 ~500℃까지 의 프로그램 제어 가능한 히터 스테이지 ,0~-1KV까지 의
고전압 인가의 전극 ,XYZθ4축 스테이지에 의해 아라이먼트 , 접합이 가능합니다.

사양

【얼라이어먼트부】

×Y스테이지 이동량±5mm
θ회전 스테이지 ±7.5о 상하 시료 스테이지모두
Z축 스테이지 이동량 핸들 보내4mm 공기 압력 보내0.5mm
히터 핫 플레이트VHPM-100,800℃,500W(사카구치 전열제)
냉각기 수 순환식
상하 시료 홀더 진공 흡착식

【관찰부】

실체 현미경 니콘제SMZ-2B, 형광 조명 첨부
종합 배율 줌 변배식 ,8~50×, 접안 렌즈10×
작동 거리 W.D.100mm
고정 방식 스윙 암식 스탠드 φ3"범위에 전면 이동 가능

【가열 제어부】

컨트롤부 프로그램 조절계(흰색동·수동 완전히 교체되고 첨부)U-6622(응용 전자제)
온도 보관 유지 안정성 설정 온도의±1% (℃)
온도 분포 ±10℃ 홀더 표면의φ3"범위

【전극부】

인가 개소 상부 시료면으로부터 전극에 의해 전압을 인가하는
설정 전압 0∨~-1K∨(다이얼 설정)
접합 전류 표시 25mA(max)

【제어 박스부】

온도 제어부 LCD표시 온도 프로그램 콘트롤러 및 열전대(응용 전자제)
고전압 전원부 설정 전압 범위 0~1.5KV
냉각수 인터 록 냉각수 온의 경우만 작동
상하 홀더용 진공 흡착 스윗치

【유틸리티】

전원 AC100V 50/60Hz 1500∨A
냉각수 수량2리터/분 정도 수압2kg/c㎡정도
진공 라인 접속구φ6mm츄프용 원터치 이음새

【외형 치수·중량】

장치 본체 700W×600D×700H mm
제어 포트크스 320W×400D×300H mm
장치 중량 150 kg (제어 박스함)

【옵션】

각종 시료 홀더
진공 펌프
냉각수 펌프
전용 테스크

● 혹, 본 사양은 예고 없이 변경하는 일이 있습니다.


 


개요

가동 이온을 포함한 유리와 실리콘 웨퍼의 정전 인력 접합.
워크를 고온 가열해 고전압을 거는 것으로 기판 끼리를 접합할 수 있습니다.
마이크로 리엑터용 채널 제작에, 디바이스의 접합에 신속 한편 간단하게 시작품, 양산품을 제작할 수 있습니다.